wafer grip

...Met het LeviWafer-Gripper transportsysteem is het mogelijk om gevoelige wafers contactloos te tillen en te transporteren. In combinatie met het transport is ook het (de)laden van stapels en cassettes mogelijk. De grijper maakt gebruik van ultrasone lagertechnologie om de wafer op afstand te houden, waardoor contactloos transport mogelijk is. Naast micro-krasjes en -scheurtjes wordt besmetting...