LeviWafer-Gripper

Met het LeviWafer-Gripper transportsysteem is het mogelijk om gevoelige wafers contactloos te tillen en te transporteren. In combinatie met het transport is ook het (de)laden van stapels en cassettes mogelijk. De grijper maakt gebruik van ultrasone lagertechnologie om de wafer op afstand te houden, waardoor contactloos transport mogelijk is. Naast micro-krasjes en -scheurtjes wordt besmetting door deeltjes voorkomen, aangezien er zonder perslucht geen luchtverplaatsing ontstaat. Daarom is de grijper ook zeer geschikt voor schone ruimtes. De LeviWafer-Gripper kan worden ontworpen met een enkele of dubbele paddle. Kenmerken van de LeviWafer-Gripper: - Contactloze opname - Geen micro-krasjes, micro-scheurtjes of deeltjes - Geschikt voor standaard cassettes - Laag energieverbruik - Aanpasbaar volgens klantspecificaties