vermogensverdelers

... voor de energievoorziening van plasmasystemen. Dit omvat impedantie-aanpassingsnetwerken met autotuning-eenheid, evenals filters, schakelaars, faseverschuivers, vermogensverdelers, leidingen en connectors. De focus ligt op het gebied van hoogfrequente plasmaprocessen bij 13,56 en 27,12 MHz. Gebaseerd op de knowhow uit de componentenbouw biedt AURION ook complete systemen voor plasmagestuurde oppervlaktebehandeling aan, dat wil zeggen zowel voor oppervlakte-reiniging en -modificatie als voor coating- en etsingprocessen (PVD, PECVD, RIE, microgolf).