confocale microscoop

...Aangepaste confocale microscoop voor waferinspectie...

... (1001 x 1001 pixels, min. stap 20 nm) Scangebied: 150 μm x 150 μm (met 100x objectief) CCD-camera type: Digitale CCD-camera HS101H Sensor: Achteraf verlichte CCD-array 2048 x 122 Pixelgrootte: 12 x 12 μm Sensor koeling: Twee-traps Peltier koeling met temperatuurstabilisatie tot -45°C Camera ADC: 16 bit Objectief positioneerder: Drie-gecoördineerd (XYZ) Laserstraal attenuator: VND-filter Confocale pinhole: Variabel. Van 0 tot 1,5 mm. Stapgrootte 0,5 μm Confocale laser microscoop detector: PMT Lasers: 325nm (10 mW), 441,6nm (50 mW), 473nm (22/50 nm), 532nm (22/50 mW), 633nm (10 mW), 785nm (100 mW)...