LeviWafer Grijper

Met het LeviWafer-grijpersysteem is het mogelijk om gevoelige wafers contactloos op te tillen en te transporteren. In combinatie met het transport is ook het in- en uitladen van cassettes of stapels mogelijk. De grijper houdt de wafer op afstand met behulp van ultrasone lagertechnologie, waardoor contactloos transport mogelijk is. Naast microkrassen en -scheurtjes worden verontreinigingen door deeltjes voorkomen, omdat er zonder perslucht geen luchtverstoringen ontstaan. Daarom is de grijper ook zeer geschikt voor de cleanroom. De LeviWafer-grijper kan worden ontworpen met een single- of doublepaddle. Kenmerken van de LeviWafer-grijper: - Contactloze opname - Geen microkrassen, microscheurtjes of deeltjes - Geschikt voor standaardcassettes - Laag energieverbruik - Aanpasbaar aan klantvereisten