Restgasanalysatoren (RGA) en Massaspectrometers - MPH100F

ONTGRENDEL UW PROCES Ongeëvenaarde prestaties voor verhoogde opbrengsten en maximale beschikbaarheid De steeds stijgende prijs van siliciumwafers en de vraag naar eindproducten betekent dat afgedankte wafers meer kosten dan ooit tevoren. Daarom is het begrijpen van uw proces en het monitoren op defecten een veel hogere prioriteit geworden in semiconductorfabricagecentra. Het Transpector MPH Gas Analyse Systeem is ontworpen om uw proces te ontgrendelen met toonaangevende prestaties voor al uw gasanalyse-toepassingen om chipopbrengsten te maximaliseren en de stilstand van gereedschappen te minimaliseren. In combinatie met een lage totale eigendomskosten en een hoge gemiddelde tijd tussen storingen, helpt Transpector MPH uw resultaat meer dan enig andere residuele gasanalysator (RGA) op de markt. INFICON heeft zijn expertise in gasanalyse en procescontroleapparatuur benut om een RGA te creëren met toonaangevende datasnelheid, minimale detecteerbare partiële druk en signaal-ruisverhouding. Dit alles, zonder in te boeten op... Sensorlengte: 14,3 cm Massabereik: 100 amu Detectortype: FC Gevoeligheid (FC): 6E-4 A/Torr Gevoeligheid (EM): NA Min. detecteerbare partiële druk (4): 3E-13 Torr Max. sensorbedrijfstemperatuur (FC): 200°C Max. sensorbedrijfstemperatuur (EM): NA Filamenttype-optie (1): Y2O3/Ir Filamenttype-optie (2): Wolfraam Max. gegevenssnelheid per punt: 1,8 ms Max. werkdruk: 5E-4 Torr Max. baktemperatuur: 300 Voeding: 20-30 VDC