LIP/LIF/LIC voor toepassing in ultrahoge vacuümtechnologie

LIP/LIF/LIC-serie voor toepassingen in hoge en ultrahoge vacuümtechnologie - Blootgestelde lineaire encoders zijn ontworpen voor gebruik op machines en installaties die een hoge nauwkeurigheid van de gemeten waarde vereisen. Typische toepassingen zijn onder andere: - Meet- en productieapparatuur in de halfgeleiderindustrie - PCB-assemblagemachines - Ultra-precisie machines - Hoge nauwkeurigheid machinegereedschappen - Meetmachines en vergelijkers, meetmicroscopen en andere precisie meetinstrumenten - Directe aandrijvingen Onze standaard encoders zijn geschikt voor gebruik in een laag of gemiddeld vacuüm. Encoders die worden gebruikt voor toepassingen in een hoog of ultrahoog vacuüm moeten voldoen aan speciale vereisten. Ontwerp en gebruikte materialen moeten speciaal hiervoor worden aangepast. Voor meer informatie, zie het document Technische Informatie Lineaire Encoders voor Vacuümtechnologie. De volgende blootgestelde lineaire encoders zijn speciaal aangepast voor gebruik in hoge en ultrahoge vacuümomgevingen. • Hoog vacuüm: LIP 481 V en LIF 481 V • Hoog vacuüm: LIC 4113 V en LIC 4193 V • Ultrahoog vacuüm: LIP 481 U Meetlengte: Tot 3040 mm Positiefout per signaalperiode: ± 0,001 µm / Tot ± 0,04 µm