Plasma-oppervlaktebehandelingssysteem | Pico - Laagdrukplasma-systeem, Plasma-oppervlaktebehandelingssysteem, Plasma Cleaner

Plasma-installaties van Diener electronic hebben zich inmiddels in de meest uiteenlopende industrieën bewezen. Met de laagdruk plasma-installatie Pico kiest u voor moderne en toekomstbestendige koude plasmatechnologie in vacuüm. Het kamervolume van 5 tot 8 liter van dit plasmasysteem biedt voldoende ruimte om laboratoria en ook seriefabricage te bedienen. De plasmabehandeling in laagdruk-plasma is een beproefde techniek voor gecontroleerde fijnreiniging, verbetering van de hechting (activatie en etsen) en coating van dunne lagen op substraatoppervlakken. Plasma wordt gegenereerd door het gebruik van hoogfrequente spanning in de vacuümkamer. Hierbij wordt het daar ingeleide procesgas geïoniseerd. Toepassingsgebieden: - VOC-vrije reiniging van organische resten - Activatie voor het lakken, lijmen, gieten, … - Etsen van PTFE, fotolak, oxidelaag, … - Super-hydrofobe en -hydrofiele coatings Afmetingen (tafelmodel): 310 - 560 mm x 330 - 860 mm x 420 - 600 mm (BxHxD) Afmetingen (staande uitvoering): 600 mm x 1700 mm x 800 mm (BxHxD) Materiaal vacuümkamer: RVS, aluminium, kwarts (UHP), borosilicaatglas (HP) Afmetingen vacuümkamer: ca. B 160 mm x H 160 mm x D 200 - 300 mm; Ø 130 mm, D 200 - 320 mm Volume vacuümkamer: Ca. 5 - 8 liter Sluiting vacuümkamer: Deksel, deur met scharnier Gasvoorziening: Naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC's) Generator: 40 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Drukmeting: Pirani, capaciteitsmanometer Elektroden: naar wens van de klant Besturing: Halfautomatisch, draaiknop, Basic PC (Win. CE), Full PC (Win. 10 IoT) Voedingsspanning: 230 V / 400 V / 50 - 60 Hz Vacuümpomp: Zuigcapaciteit min. 6 m³/h