RF Detectietechnologie

RF-sensor met FabGuard biedt realtime plasma-procesanalyse om procesvariabiliteit aanzienlijk te verminderen INFICON RF-sensortechnologie biedt zeer nauwkeurige, breedbandige, frequentie-discriminante RF-metingen voor halfgeleiderverwerkingsgereedschappen. Deze RF-gegevens bieden gedetailleerd inzicht in de werkelijke plasmaomstandigheden van zowel procesontwikkeling als productieprocesproblemen om procesvariabiliteit aanzienlijk te verminderen. De nieuwste in zijn reeks geavanceerde procescontrole in situ-sensoren, deze niet-intrusieve inline kabelmontage RF-sensor combineert met het FabGuard Sensor Integratie en Analyse Systeem om cruciale diagnostische informatie te bieden, zoals nauwkeurige metingen van kamer- en procesvermogen en impedantie, oorzaak-analyse van storingen (zoals problemen met het afstemnetwerk), procesvingerafdrukken voor kamerafstemming en wafermetrologie modellering in PVD, CVD en etch-toepassingen. INFICON RF-sensortechnologie met FabGuard genereert zeer nauwkeurige modellen die wafermetrologie voorspellen...