Dunne Film Depositie - IC6

EXCELLENCE HERHAALBAAR MAKEN Functierijke IC6 Biedt de Beste Meetprecisie Mogelijk De IC6 Thin Film Deposition Controller biedt uitzonderlijke waarde door de bewezen prestaties van INFICON dunne filmcontrollers te combineren met unieke functies, allemaal ontworpen zodat u het meeste uit uw depositieproces kunt halen. De IC6 maakt gebruik van ons ModeLock frequentiemetingssysteem om stabiele, hoge-resolutie snelheid en diktemeting te bieden met een toonaangevende snelheidresolutie van 0.00433 Å/s elke 1/10 seconde. Geen enkele andere kwarts kristalcontroller heeft de prestaties, kwaliteit en functies van de IC6, waardoor u excellentie herhaalbaar kunt maken. 1 Å voor 0 tot 9.999 kÅ 10 Å voor 10.00 tot 99.99 kÅ 100 Å voor 100.0 tot 999.9 kÅ 1 kÅ voor 1000 tot 9999 kÅ 0.001 voor 0 tot 9.999 Å/s als de tijdinstelling van het snelheidsfilter 10 seconden of meer is 0.01 voor 0 tot 99.99 Å/s 0.1 voor 100 tot 999.9 Å/s 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Gereedschap/dichtheid = 100/1, fundamentele frequentie = 6 MHz (2)... Frequentieresolutie: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Dikte- en snelheidsresolutie/meting (1): ±0.00433 Å Meetfrequentiebereik: 6.0 tot 4.5 MHz (vast) Dikte-nauwkeurigheid (2): 0.5% Meetinterval: 0.10 s Meerdere meetgemiddelden: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, en 30.0 sec. gemiddelde toegestaan Auto Z: ja Autotone: ja Co-depositie: ja (tot 6 bronnen) Materiaalprogramma's: 32 Proceslagen (per proces): 200 Processen: 50 (processen kunnen aan elkaar worden gekoppeld) USB-geheugen: ja Gegevensregistratie: ja Dual / CrystalTwo®: 4 / 8 (met CrystalTwo® Switch) Aantal bronnen (4): tot 6 Broncontrole spanningen: 0 tot +/-10 V, instelbaar Uitgangsresolutie: 15 bits over het volledige bereik (0 tot 10V) Kruikenposities: 64 Ingangen: 14 standaard, tot 28 optioneel; TTL/CMOS logica compatibel of sluiting naar massa Uitgangen: 8 standaard, tot 24 optioneel programmeerbare SPST relais met een nominale spanning van 30 V(dc) of 30 V(ac) RMS of 42 V piek Recorderuitgang (4): 0 tot +10 V, instelbaar Logische uitspraken: 100 volledig programmeerbaar; tot 5 acties, 5 gebeurtenissen per uitspraak Standaard: RS232 Optioneel: Ethernet Dikte-resolutie: 1 Å voor 0 tot 9.999 kÅ 10 Å voor 10.00 tot 99.99 kÅ 100 Å voor 100.0 tot 999.9 kÅ 1 kÅ voor 1000 tot 9999 k Snelheidsresolutie: 0.001 voor 0 tot 9.999 Å/s als de tijdinstelling van het snelheidsfilter 10 seconden of meer is 0.01 voor 0 tot 99.99 Å/ Vereisten voor voeding: 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Bedrijfstemperatuur: 0 tot 50 C (32 tot 122 F) Afmetingen, exclusief bevestigingen (h x b x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Gewicht: 23 lbs (10.5 kg)