SIGA GMBH

SIGA ontwikkelt en bouwt op maat gemaakte systemen voor het meten, regelen en besturen van gasstromen en voor het verdampen en doseren van vloeibare Precursor, aangevuld met Precursor bevoorradingssystemen. Met onze gassystemen kunt u een gas of meerdere gassen of Precursor doseren en deze aan een of meerdere gebruikspunten leveren. De systemen worden aangevuld met een computerondersteunde besturing met hardware en software. De dimensionering gebeurt volgens uw wensen op basis van onze ervaring. Wij bieden o.a. Precursor verdampersystemen & bevoorradingssystemen, brandersystemen, actieve koolfilterconditioneringssystemen. Er worden massaflowregelaars MFC's, ventielen, filters, druk- en temperatuursensoren, etc. ingezet. Toepassingsgebied is overal waar gassen in productieprocessen worden gebruikt, bijvoorbeeld voor het afzetten van dunne lagen CVD. Certificaat DIN EN ISO 9001 Systemen van SIGA •Precursor verdamper ◦Verdamper voor één Precursor ◦Verdamper voor 2 of meer Precursor ◦Vloeistofdosering met aansluitende verdamping •Precursor bevoorradingssystemen •Gasmengsystemen •Rein gas systemen •AKF-laadstations •Brandersystemen