Producten voor systemen van (1)

Ersatzteile umfassen beispielsweise Kammern, Filamente, Lichtbogenöffnungen, Halter und viele andere Teile. Die Ersatzteile bestehen aus Graphit, Molybdän, Wolfram und Legierungen. Sie sind extrem langlebig und halten lange, wodurch sie Geld und Wartungszeit sparen. In jedem Strahlengang sind 100 oder mehr Plansee-Komponenten im Einsatz. Sie sorgen dafür, dass die Ionen effizient erzeugt und präzise sowie frei von Verunreinigungen entlang des Strahlengangs zum Wafer geleitet werden. Für Kunden in der Halbleiterindustrie werden Plansee-Ersatzteile zunehmend mehr als nur Ersatzteile. Ausgehend von den Original-Ersatzteilen des Geräteherstellers optimiert Plansee die Geometrien und Materialzusammensetzungen. Die Vorteile für Sie: — Vereinfachte Montage und Demontage von Komponenten — Längere Lebensdauer — Geringere Reinigungskosten — Reduzierter Wartungsaufwand — Geringere Ausfallzeiten