Reserveonderdelen omvatten bijvoorbeeld kamers, filamenten, boogslitsen, houders en vele andere onderdelen. De reserveonderdelen zijn gemaakt van grafiet, molybdeen, tungsten en legeringen. Ze zijn extreem duurzaam en gaan lang mee, waardoor ze geld en onderhoudstijd besparen.
In elke straalpad zijn 100 of meer Plansee-componenten actief. Ze zorgen ervoor dat de ionen efficiënt worden gegenereerd en nauwkeurig en vrij van onzuiverheden langs het straalpad naar de wafer worden geleid. Voor klanten in de halfgeleiderindustrie worden Plansee-reserveonderdelen steeds meer dan alleen maar reserveonderdelen. Uitgaande van de originele reserveonderdelen van de apparatuurfabrikant, optimaliseert Plansee de geometrieën en materiaalsamenstellingen. De voordelen voor u:
— Vereenvoudigde installatie en verwijdering van componenten
— Langere levensduur
— Lagere schoonmaakkosten
— Verminderde onderhoudswerkzaamheden
— Verminderde stilstandtijden