Innovacera levert de poreuze keramische plaat/schijf voor vacuümklemmen, die voornamelijk wordt gebruikt om de halfgeleiderwafer te ondersteunen en vast te klemmen tijdens het slijpen en snijden. Het wordt toegepast in het proces van verdunnen, snijden, opruimen, transport, enzovoort.
Slechts één maat op voorraad (Dia200*T3mm, 15um), maatwerk is beschikbaar.
Hoofdtoepassingsgebied:
— Nieuwe en gereviseerde, poreuze keramische klemmen voor Disco, ADT, K & S, Applied Materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point, enz. zaag- en slijpmachines.
— 6″, 8,” 12″ zijn reguliere maten, en de poriegrootte omvat 15um, 30um, 50um, 100um.
Materialen zijn alumina (Kleur: wit, lichtbruin, donkerbruin, blauw-grijs)
— Maatwerk (zoals vierkant, ovaal of onregelmatige vormen) is voor ons beschikbaar.
Kenmerken zijn onder andere:
Hoge vlakheid en parallelisme
Compacte en uniforme microstructuur met hoge sterkte
Goede permeabiliteit en uniforme adsorptie-affiniteit
Lange levensduur
Eenvoudig te dresseren.
15um Poriegrootte: Lichtbruin
Al2O3 Gehalte (wt%): ≥ 80
Dichtheid: 2.3—2.5 g/cm3
Hardheid (HRA): HRA ≥50