TOPOS Interferometrische Meetsystemen

TOPOS Interferometrische Meetsystemen voor de contactloze vlakheidsmeting van fijnbewerkte precisieonderdelen TOPOS interferometers werken volgens het principe van de schuine lichtinval, zodat de vlakheid van zelfs ruwere onderdelen, die met het vlakglas of Fizeau-interferometer geen strokenbeeld meer vertonen, gemeten kan worden. Uit het interferentie-strokenbeeld wordt door een computer de vlakheid van een onderdeel bepaald. Naast gelapte of fijn geschuurde onderdelen zijn ook gepolijste onderdelen meetbaar. De onderdelen kunnen uit verschillende materialen bestaan: - Metaal (staal, aluminium, brons, koper, etc.) - Keramiek (AL2O3, SiC, SiN, etc.) - Kunststof - etc. De interferometers kunnen in de productie dicht bij de bewerkingsmachine worden geplaatst. De absoluut nauwkeurigheid bedraagt tot 0,1 µm over het gehele meetveld.