microVEGA™ xMR - Contractproductie is beschikbaar.

Het microVEGA™ xMR-systeem biedt een hoge doorvoer laserverharding voor de vorming van monolithische magnetische sensoren. Met een zeer flexibele toolconfiguratie kan de microVEGA™ xMR zowel Giant Magnetoresistance (GMR) als Tunnel Magnetoresistance (TMR) sensoren accommoderen, en kan het eenvoudig de magnetische oriëntatie, sensorpositie en sensordimensie aanpassen—wat het een ideale oplossing maakt voor de productie van magnetische sensoren. De microVEGA™ xMR maakt gebruik van on-the-fly spots en variabele laserenergie om selectieve verwarming van de pinninglaag in elke sensor te bieden, om zo de bedoelde magnetische oriëntatie te 'imprinten'. De sterkte en oriëntatie van het magnetische veld zijn aanpasbaar via recepten, terwijl hoge temperatuurgradiënten zorgen voor een lage thermische impact. Dit stelt sensoren in staat om direct naast uitlezelektronica te worden verwerkt, evenals dichter bij elkaar, en maakt de productie van kleinere sensoren mogelijk—waardoor er ruimte vrijkomt voor het verwerken van meer apparaten per wafer.